1.口径：1mm 2.准确度：1.5。
3.多种输出模式4.直接测量气体质量流量5.流量范围：0.01~2slpm 6.精度高，压力损失小，响应时间快7.适用领域：采样分析仪器，色谱仪，清洁气体监测，泄漏检测，hvac控制等.1。
无漂移，无滞后2.精确测量非常小的流量3.完全校准和温度补偿4.低功耗（使用脉冲激励电流）5。
最新一代MEMS传感器芯片技术6.精度高，响应快，重复性好7.线性或方形特性输出;模拟或数字输出1.便携式仪器2.空气和环境保护3.工业过程控制：燃烧器控制4.医疗设备：呼吸计，肺活量计，麻醉控制器，氧气控制等.5。
HVAC：可变风量系统（VAV） ，过滤器监控，风扇通风控制等
